等離子體和固體、液體或氣體一樣，是物質(zhì)的一種狀態(tài)，也叫做物質(zhì)的第四態(tài)。從通常的能量排布：氣體>液體>固體的角度來(lái)說(shuō)，等離子的能量比氣體更高，能表現(xiàn)出一般氣體所不具有的特性，所以也被稱(chēng)為物質(zhì)的第四態(tài)。當(dāng)氣體電離生成電子正離子一般在段時(shí)間內(nèi)發(fā)生結(jié)合，回到中性分子狀態(tài)，這個(gè)過(guò)程產(chǎn)生的電子、離子的一部分能量以電磁波等不同形式消耗，在分子離解時(shí)常生成自由基，生成的電子結(jié)合中性原子，分子形成負(fù)離子。因此，整個(gè)等離子體是電子正負(fù)離子激發(fā)態(tài)原子，原子以及自由基的混合狀態(tài)。因?yàn)楦鞣N化學(xué)反應(yīng)都是在高激發(fā)態(tài)下進(jìn)行的，與經(jīng)典的化學(xué)反應(yīng)*不同。這樣使等離子體的原子或分子的本性通常都發(fā)生改變，即使是較穩(wěn)定的惰性氣體也會(huì)變得具有很強(qiáng)的化學(xué)活潑性。等離子體在電磁場(chǎng)的作用下高速運(yùn)動(dòng)，沖擊物體表面，起到清洗、刻蝕、活化、改性的目的。
　　Plasma等離子清洗機(jī)的優(yōu)勢(shì)：
　　一、清洗對(duì)象經(jīng)等離子清洗之后是干燥的，不需要再經(jīng)干燥處理即可送往下一道工序?？梢哉麄€(gè)工藝流水線(xiàn)的處理效率；
　　二、等離子清洗使得用戶(hù)可以遠(yuǎn)離有害溶劑對(duì)人體的傷害，同時(shí)也避免了濕法清洗中容易洗壞清洗對(duì)象的問(wèn)題；
　　三、避免使用三氯乙烷等ODS有害溶劑，這樣清洗后不會(huì)產(chǎn)生有害污染物，因此這種清洗方法屬于環(huán)保的綠色清洗方法。這在高度關(guān)注環(huán)保的情況下越發(fā)顯出它的重要性；
　　四、Plasma等離子清洗機(jī)采用無(wú)線(xiàn)電波范圍的高頻產(chǎn)生的等離子體與激光等直射光線(xiàn)不同。等離子體的方向性不強(qiáng)，這使得它可以深入到物體的微細(xì)孔眼和凹陷的內(nèi)部完成清洗任務(wù)，因此不需要過(guò)多考慮被清洗物體的形狀。而且對(duì)這些難清洗部位的清洗效果與氟利昂清洗的效果像是甚至更好；
　　五、使用Plasma等離子清洗機(jī)，可以使得清洗效率獲得極大的提高。整個(gè)清洗工藝流程幾分鐘內(nèi)即可完成，因此具有產(chǎn)率高的特點(diǎn)；
　　六、等離子清洗需要控制的真空度約為100Pa，這種清洗條件很容易達(dá)到。因此這種裝置的設(shè)備成本不高，加上清洗過(guò)程不需要使用價(jià)格較為昂貴的有機(jī)溶劑，這使得整體成本要低于傳統(tǒng)的濕法清洗工藝；
　　七、使用Plasma等離子清洗機(jī)清洗，避免了對(duì)清洗液的運(yùn)輸、存儲(chǔ)、排放等處理措施，所以生產(chǎn)場(chǎng)地很容易保持清潔衛(wèi)生；
　　八、等離子體清洗可以不分處理對(duì)象，它可以處理各種各樣的材質(zhì)，無(wú)論是金屬、半導(dǎo)體、氧化物，還是高分子材料（如聚丙烯、聚氯乙烯、聚四氟乙烯、聚酰亞胺、聚酯、環(huán)氧樹(shù)脂等高聚物）都可以使用等離子體來(lái)處理。因此特別適合于不耐熱以及不耐溶劑的材質(zhì)。而且還可以有選擇地對(duì)材料的整體、局部或復(fù)雜結(jié)構(gòu)進(jìn)行部分清洗；
　　九、Plasma等離子清洗機(jī)在完成清洗去污的同時(shí)，還可以改善材料本身的表面性能。如提高表面的潤(rùn)濕性能、改善膜的黏著力等，這在許多應(yīng)用中都是非常重要的。